10月23日，2023年度上海市科學技術獎勵大會在上海展覽中心隆重召開。根據《上海市科學技術獎勵規定》(滬府令8號)，通過市科學技術獎評審委員會評審，市科學技術獎勵委員會審定，經上海市人民政府批準，2023年度上海市科學技術獎授獎214項(人)。上海微系統所共獲3個獎項，2項技術發明一等獎，1項科技進步二等獎，分別為：由李昕欣，許鵬程，于海濤，陳瀅，李明，賈浩，王雪鳳團隊完成的“變溫諧振微懸臂梁的材料原位測量分析方法與科學儀器技術”項目榮獲“上海市技術發明一等獎”；由曹俊誠，譚智勇，黎華，萬文堅，王長，符張龍，韓英軍，邵棣祥，李子平，張真真團隊完成的“高性能太赫茲量子級聯激光器及儀器關鍵技術”項目榮獲“上海市技術發明一等獎”；由陳方團隊與上海航天控制技術研究所等合作單位團隊共同完成的“高性能MEMS陀螺及其系統應用技術”項目榮獲“上海市科技進步二等獎”。
 

　　獲獎簡介
 

　　“變溫諧振微懸臂梁的材料原位測量分析方法與科學儀器技術”
 

　　榮獲“上海市技術發明一等獎”
 

　　李昕欣，許鵬程，于海濤，陳? 瀅，李? 明，賈? 浩，王雪鳳

 

　　李昕欣研究員團隊針對材料理化特性表征用吸附分析/熱分析儀器缺乏高靈敏原位測量技術的共性問題，發明變溫諧振懸臂梁MEMS集成芯片和超靈敏原位測量技術，創新研發出國際首款界面熱力學動力學整套參數測量儀(ITKP)、首款可原位顯微聯用的微懸臂梁熱重分析儀(TGA)和首款原位測量的程序升溫脫附分析儀(in-situ TPD)等一系列成果鑒定為水平國際領先的科學儀器。使該類儀器實現了全新分析功能和測量精度的數量級提升，并在脫附活化能測量上顯著改進了現有儀器長期沿用的教科書經典方法，在儀器芯片化換代提升的同時取得重要科學進步。成果轉化創建的廈門海恩邁科技有限公司已實現系列儀器產品銷售和推廣應用，并將國產高端儀器反向出售給發達國家著名科學機構。
 

　　“高性能太赫茲量子級聯激光器及儀器關鍵技術”
 

　　榮獲“上海市技術發明一等獎”
 

　　曹俊誠，譚智勇，黎? 華，萬文堅，王? 長，符張龍，韓英軍，邵棣祥，李子平，張真真

 

　　曹俊誠研究員團隊針對太赫茲頻段缺乏高品質激光源和國產儀器的痛點，從結構、材料、器件到模塊和儀器，全自主發展高性能太赫茲器件及成像儀器；研制大功率、低發散角太赫茲激光源，研發高速太赫茲寬譜探測技術，大幅提升成像速度；研制高性能實時成像儀，應用于多種危險品分析與識別；研制近場顯微成像儀，將太赫茲輻射與物質相互作用深入到亞微米尺度。研制的模塊化太赫茲器件成功應用于中國空間站望遠鏡(CSST)太赫茲混頻探測本振源、我國首臺自由電子激光大科學裝置的太赫茲輻射檢測等。
 

　　“高性能MEMS陀螺及其系統應用技術”項目榮獲“上海市科技進步二等獎”。
 

　　陳方副研究員(第三完成人)與上海航天控制技術研究所等合作單位團隊共同完成

 

　　陳方副研究員團隊與上海航天技術研究所產學研用相結合，聚焦限制高性能MEMS陀螺和系統研制與應用的核心瓶頸技術，以MEMS陀螺芯片、電路控制、系統應用為任務主線，歷經多年攻關，突破了一系列關鍵技術，大幅提升了國產MEMS陀螺及其慣性測量系統的技術水平。基于國產高性能四質量塊MEMS陀螺儀裸片，研制了高性能MEMS陀螺及一系列慣性測量系統，產品性能達到了導航級。